大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTW-REH5500』
【～300ｍｍウエハ用】450WPHの高速搬送！ 装置のスループット向上に貢献するウエハ搬送ロボット
■ハイスピードモデルのウエハ搬送ロボット 450WPHの高速搬送で装置のスループット向上に貢献します。 半導体用クリーンロボット「ACTRANSシリーズ」は、技術に裏打ちされた 高い性能とグローバルネットワークによる優れたサポートでお客様の 半導体製造における様々なソリューションを提供して参ります。
- 企業：株式会社ダイヘン
- 価格：応相談
ウェハ搬送ロボット(半導体 搬送) - 企業2社の製品一覧
製品一覧
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HIWINウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】
高精度＆高剛性！ 2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】
自社製DDモーターを採用し、高精度＆高剛性が特長。 2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。 高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。
- 企業：ハイウィン株式会社
- 価格：応相談
